北京MEMS微针晶圆 芯云纳米技术供应

硅材料具有良好的机电、传感特性, 资源丰富,且硅微细加工技术已成熟, 所以硅微针受到人们的格外青睐。硅微针主要利用各向同性和各向异性刻蚀工艺来制备,刻蚀过程的控制一直是一个难点。N. Wilke 利用计算机软件对刻蚀进行了模拟，北京MEMS微针晶圆, 优化了微针制作工艺，北京MEMS微针晶圆。Takay uki Shibata利用深层反应离子刻蚀的冲孔效应制作出了顶部为半球形的空心SiO2微针阵列，利用硅材料来制备微针, 可充分发挥硅微加工工艺成熟的优势, 然而硅微针所存在的易断裂而滞留于皮肤导致的工作有效性与安全性不高的问题，北京MEMS微针晶圆, 直接影响了硅材料在微针上的应用。中空微针可以用金属、玻璃和硅等材料制成。北京MEMS微针晶圆

制备硅微针的工艺流程如下。首先通过湿法氧化在硅片两面形成二氧化硅层, 对正面的 二氧化硅层进行图形化; 接着进行深反应离子刻蚀, 当硅片被刻穿时,二氧化硅层阻止了刻蚀, 刻蚀只能向其他方向进行, 从而形成半球形结构,这就是冲孔效应; 再对硅片进行氧化, 去除底部的二氧化硅层, 后面刻蚀硅片得到微针阵列。该法充分利用硅深 刻蚀能力及硅和二氧化硅两种材料间的选择性加工得到批量化中空硅微针阵列, 剩余的硅成为二氧化硅微针的支撑体,并可进一步与微流体系统键合集成。浙江高晶微针设计可溶性微针是利用模具将药物制作成针尖。

Lee 在 US.Pat.No.5250023 中公开了一种透皮药物释放器件，包含许多直径在 50~400 微米，长度在 200~2000 微米的皮肤针 (skin needle)，针的材质是不锈钢的，用于改进蛋白质或核酸的透皮释放。Prausnitz 在 US Pat.No6503231公开了一种用MEMS技术在单晶硅材料上制作圆锥形多孔微针的方法，该器件用于改进药物的透皮释放效率。该方法具体是利用光刻技术在单晶硅表面形成图案，然后利用深离子反应蚀刻技术形成圆锥形微针，但是该方法制作的微针太尖，在使用过程中有的针头会折断。为了更好地满足药物释放对器件的要求，即产生更小的创伤或切口，以更大的效率传递药物，使药物的管理和使用更加容易，开发具有生物相容性的微针是非常有必要的。

在使用紫外压印原理制备固体实心微针模具时,通常采用MEMS技术,但此种方法会造成微针模具损伤,进而导致制作成本提高。秉承绿色化学的原则,尽可能地节约成本、降低原料损耗,就需要避免模具的损坏。因此在制备过程中,可通过使用二次转模聚乳酸工艺,来制备新的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微针模具,选用PDMS是因为其具有较为优越的脱模性和柔韧性。在进行微针的制备前,要对所使用材料进行预处理，包括用乙醇溶液来消毒、净化PDMS微针模具,且风干后方可执行后续操作。微针主要是通过在皮肤上形成微小通道。

先进的3D打印方法可以制造出受控几何形状的聚合物微针(难以使用传统方法制造)。Cassie利用连续液体界面生产的三维打印技术设计并制造出了刻面微针阵列。与光滑的金字塔形设计相比,刻面微针的设计增加了表面积,以增加了模型表面涂层中的疫苗组分(卵清蛋白和CpG)。利用荧光标记和活着的动物成像,评估了小鼠体内疫苗的保留和生物利用度。刻面微针阵列与皮下注射相比,微针透皮递送不仅增强了皮肤中疫苗的含量,而且还改善了引流淋巴结中免疫细胞的活性。微针可以通过深反应离子刻蚀制作。浙江微针电极

微针在使用前需要进行消毒才能使用。北京MEMS微针晶圆

随着人们物质生活水平的提高，大家对生命健康越来越重视，医疗领域得到了空前发展，微针阵列器件应运而生，为生物医学领域注入了新的活力，形成了新的安全高效 的治方法，具有以下优点：一是微针阵列具有尺寸小，生物相容性好等特点。可以应用于传统医疗器械不能触及的狭小空间；二是微针阵列的接触面积小，可以为患者提供更好的运动自由度，给使用者带来更小的损伤；三是微针的精度高，能够准确控制刺入皮肤的深度，可应用于精密医疗仪器。北京MEMS微针晶圆