天津铂叉指电极 芯云纳米技术供应

叉指电极制备方法包括薄膜沉积，通过化学或物理方法把厚度在微纳米级别的薄膜沉积在衬底表面的微纳加工方法。化学方法如化学气相沉积、外延，天津铂叉指电极、热氧化等，通常伴有副产物的产生。物理方法包括蒸镀和溅射，是利用物理过程使被沉积材料直接沉积到衬底表面形成薄膜，天津铂叉指电极，不发生化学反应。本工作中薄膜沉积为电子束蒸发，是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向衬底输运，在衬底上凝结形成薄膜的方法。电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜同时在同一蒸发沉积装置中可以安置多个堆塌，实现同时或分别蒸发，沉积多种不同的物质，天津铂叉指电极。通过电子束蒸发，任何材料都可以被蒸发，不同材料需要采用不同类型的堆塌以获得所要达到的蒸发率。容性生物电极的一个很大的优势便是能够借助介电层的隔离保护作用，避免漏电流存在而造成触电损害。天津铂叉指电极

叉指电极制备方法包括四个步骤：(1)衬底清洗。首先需要对基片进行清洗,本工作中所用二氧化硅硅片在购得洁净硅片的基础上，再依次进行乙醇、去离子水的超声清洗。 (2) 光刻。光刻是一种将掩膜版上图形转移到衬底表面的技术，在大规模集成电路制造中有应用，其主要利用紫外光照射光刻胶使其化学性质改变，然后去除相应光刻胶，得到掩模版上的图形，进而作为后续工艺的掩模。(3) 薄膜沉积。主要包括物理方法和化学方法沉积。(4) 剥离(lift-of)。剥离是在衬底上进行薄膜沉积后，通过去除光刻胶的方法使附着在光刻胶上的金属脱附，直接沉积在衬底的金属被保留，形成电极图形。剥离工艺的优势是操作简单、成本低廉，而且去胶过程中不会对衬底产生刻蚀损伤。山东石英叉指电极生物传感器领域内，衬底材料主流发展方向之一。

在各类生物传感器中，葡萄糖传感器在食品、医药和生物等领域均有应用。据资料显示，到2030年，全球糖尿病患者达到5.5亿。在诊断及预防糖尿病的过程中，葡萄糖浓度检测是必不可少的。现在检测葡萄糖浓度的方法主要有比色法、荧光法、色谱法和电化学法等，其中电化学法以便捷、操作简单、价格低廉等优势成为重要检测手段。电化学法一般采用的为叉指电极或三电极系列作为检测信号和电信号传输的工具，若采用体内葡糖糖检测，则需要采用柔性电极。

加工后的芯片为划片后用金线将芯片上的焊盘和 PCB 板底座上的焊盘导通，PCB 上有和外界处理电路相连的接口。焊盘处用环氧树脂封装，避免暴露而引入噪声，同时固定腔体用于培养细胞。采用电镀铂黑的方法来提升电极比表面积，在电镀前，芯片表面用酒精和去离子水交替清洗，直至显微镜下观察到电极上无异物并呈亮金色。电镀铂黑的溶液出 1%的氯酸和0.01%的醋酸铅配制而成。以微电极为工作电极，Ag/AgCI 电极为参考电极，铂电极为对电极，恒电位工作仪产生的直流恒电压 0.01mV 为工作电压，根据电极大小控制时间，直径为30um的电极所需电镀时间约为20~25s。电镀后电极位点表面早黑色棉絮状,明显增加了电极表面的粗糙程度。处理后的芯片可用纯水清洗，去除离散的铂黑微粒，浸于纯水环境中，并避光保存，避免芯片表面生长微生物而受到污染。柔性叉指电极的工作原理是在外界力的作用下导致弹性介质发生变形，从而引起叉指电极的电容值发生变化。

叉指电极双电层来源于界面电荷，产生在固-液界面，由于其特殊微观结构与性质决定了固-液界面的性能。通过双电层理论人们可以得到表面浓度、浓度分布、吸附层与基地之间的电容值及变化率等电化学反应参数。此外，双电层间还有界面电场，该电场的距离非常小因而有较大的电场强度，并且能够极大的改变电化学反应速度，甚至使某些条件下难以发生或进行的化学反应可以得以实现。电容产生于电解质和电极表面界面上的离子和分子之间的相互作用，并与电极面积间接成正比。双层电容对测量装置施加了限制，增加了低频的测量误差，通过优化微电极的设计，以降低界面阻抗，并在较低的频率范围内扩展微电极的有效频率探测范围，首先是消除界面现象的影响，然后提高微生物测量的灵敏度。微纳加工工艺所制造的叉指电极功能层薄膜厚度在纳米级。江苏玻璃叉指电极

叉指微电极细胞传感器将会朝着超微型化、集成化、阵列化和实时在线检测等方向发展。天津铂叉指电极

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