北京柔性叉指电极 芯云纳米技术供应

柔性叉指电极稳定性好，灵敏度高，表面空间电场特性好，生物相容性好，在可穿戴领域、电子皮肤和生物测试领域应用。柔性电极因具有阻抗低、快速建立稳态信号、信噪比高等优点，常被用作与生物非均匀体系接触的媒介和信号转换器，北京柔性叉指电极。柔性叉指电极可嵌入衣物、贴附皮肤等方式感知外部环境。柔性电极是指可以承受弯曲、扭转、拉伸、折叠等形变，北京柔性叉指电极，并且在形变状态下依然能够正常工作的电极材料，北京柔性叉指电极。其特点是具有高导电性、高柔韧性、使用上的耐久性等。叉指电极采用微电子机械系统(MEMS)工艺制备，集成结构为叉指阵列分布的工作电极和对电极。北京柔性叉指电极

微又指电极可用于检测不正常细胞，不正常细胞是由正常细胞变异而来，而正常细胞具有生命周期调亡，不正常细胞则会无限增殖，还可以转化和转移攻击正常细胞，这也是产生病源及难点所在。常在低频段实验时发现，用100um宽间距20um，500um厚的电极实验检测 MCF-7 细胞时精度更高。不同尺寸ITO叉指电极传感器对腺人类肺泡基底上皮细胞细胞培养做阻抗测量。通过阻抗分析宽 60um、间距 20um 和宽40um、间距40um两种结构的电极发现，宽60um、间距20um的电极阻抗变化更明显，证明了电极间隙小、宽度大能够使传感器有更好的灵敏度。北京硅叉指电极柔性生物电极的研究主要包括电阻式的柔性生物电极和电容式的柔性生物电极。

为保证叉指电极的良率和性能，所有工艺步骤均在超净间内完成，采用剥离工艺进行电极制作。首先，利用热氧化生长500 nm 二氧化硅硅片以确保衬底的绝缘性。将硅片用乙醇、超纯水超声清洗，并氮吹干燥保证表面洁净。然后旋涂光刻胶，前烘后进行光刻，其中不同尺寸的叉指电极选用不同尺寸的掩膜版。在光刻、显影将电极图形转移至二氧化硅衬底后，用氧等离子体刻蚀去除残胶。然后电子束蒸发沉积一层 10nm/70nm 的Cr/Au，其中Cr为金电极的黏附层。依次在乙醇、超纯水中进行超声清洗，完成剥离后切片即得到叉指电极传感器。

用于高灵敏免疫分析的微间距叉指阵列电极,如96孔U型板，用于酶或者细胞的批量检测。微间距叉指阵列电极制备采用传统的光刻显影镀膜方法，在清洁光刻基片（石英、陶瓷或玻璃材料）上用甩胶机上涂上一层光刻胶，然后在光刻机中将掩膜版与基片对准，紫外曝光将掩膜版上的图形转移到基片上，显影去掉曝光部分的光刻胶，采用真空溅射在基片上依次喷涂30nm厚的Ti层和120nm厚的Au层，用有机溶剂氯仿除去基片上的感光胶后，可制备得到微间距叉指阵列金电极。叉指微电极细胞传感器将会朝着超微型化、集成化、阵列化和实时在线检测等方向发展。

电化学传感器常用的检测体系为三电极系统,包括工作电极、对电极和参比电极。其中,工作电极多为棒状电极,如玻碳电极、金盘电极等；对电极多用铂丝电极或铂片电极；参比电极则常用 Ag/AgC电极或甘汞电极。这些电极的表面积决定了检测所需样品至少为毫升量级，限制了电化学方法在现场实时连续监测中的应用。相较于棒状电极。薄膜申极可极大地减少样品用量。拓展了电化学检测的应用场景。薄膜电极多由贵金属纳米粒子及其混合物制备得到,常见的制备方式包括溅射、蒸镀和丝网印刷等。结合光刻与溅射工艺，在聚对苯二甲酸乙二醋(Polyethylene terephthalate，PET)表面制备了可用于汗液中多种生理指标检测的 Cr/Au 薄膜电极。使用磁控溅射技术在多碳纳米管表面沉积了一层铂纳米粒子,在对 L-半胱氨酸的检测过程中表现出优异的选择性。使用丝网印刷技术制备金膜电极,用于检测液体样本中的 Cr3+检出限低至4.4 mol/L。电化学生物传感器将高灵敏的电分析方法和高特异性的生物识别过程相结合。安徽金叉指电极

叉指电极将生物检测具有的特异性与电化学技术的准确、快速等优点，制作出集成度高、携带方便的微型传感器。北京柔性叉指电极

三电极微针阵列血糖浓度传感器属于一种酶生物传感器，将生物酶和电极相结合来测定酶底物的浓度，随着世界上首支葡萄糖氧化酶电极被研制出，学术界开始重视酶生物传感器的研究并取得了迅速发展。酶生物传感器以酶作为生物敏感基件，可以根据各种化学或物理信号转换系统，计量得出目标测量物与酶反应产生的与目标测量测量浓度成比例关系的某种形式的信号，从而根据反应所测得的信号实现对目标物进行定量检测的目的。相较于其他类型的生物传感器，这种酶固化方法将酶直接固定在金属或半导体电极的表面形成固化膜，由于酶具有专属反应特性，有着很高的选择性，同时具有不溶性酶的优点和电化学电极的灵敏度。北京柔性叉指电极

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