江苏Pt叉指电极 芯云纳米技术供应

叉指电极可应用于食品安全、环境监测和生物医学等领域门，制作成本低、易实现自动检测等优点而成为是目前国内外的研究热点。亚面电极是电化学生物传感器的主要信号转换器之一，其形状多种多样，江苏Pt叉指电极，主要有四电极、三电极，江苏Pt叉指电极、两电极 3 种结构形式，形状有圆形、环形、矩形等。微又指电极阻抗生物传感器将微叉指电极作为信号转换器，是一种应用的两电极结构形式，江苏Pt叉指电极，具有阻抗降低、能快速建立稳态信号、信噪比高等优点，应用于电化学阻抗生物传感器研究。柔性叉指电极传感器可通过嵌入衣物内部、贴附在机器人或人类皮肤表面等方式感知外部环境情况。江苏Pt叉指电极

心血管疾病是人类死亡的首要病因，为了有效预防，需要对患者进行实时的心电监测。心电信号能够直接反映心脏的工作状态，是发现及预防房颤、心率失常和心肌缺血等心脏异常活动的重要依据。心电叉指电极可以将人体内离子流转变为可检测的电子流信号，心电电极需要具有良好的导电性、佩戴舒适性、出色的拉伸弯曲性能，以满足皮肤的变形通常皮肤的形变量在 30%以内）以及低皮肤电极阻抗，减少心电测试过程中的噪声和运动伪影。采用纳米纤维基心电电极作为技术路径，通常由具有纳米结构的基底材料和导电材料制得，纳米纤维基心电电极主要通过静电纺丝制备，拥有良好的心电信号采集能力。将热塑性聚氨酯（TPU）与聚（苯乙烯-b-丁二烯-苯乙烯）（SBS）混合液静电纺丝制成纳米纤维网，然后化学镀银制成心电电极。上海叉指电极容性生物电极通过介电层形成电容耦合完成信号采集。

微又指电极可用于检测不正常细胞，不正常细胞是由正常细胞变异而来，而正常细胞具有生命周期调亡，不正常细胞则会无限增殖，还可以转化和转移攻击正常细胞，这也是产生病源及难点所在。常在低频段实验时发现，用100um宽间距20um，500um厚的电极实验检测 MCF-7 细胞时精度更高。不同尺寸ITO叉指电极传感器对腺人类肺泡基底上皮细胞细胞培养做阻抗测量。通过阻抗分析宽 60um、间距 20um 和宽40um、间距40um两种结构的电极发现，宽60um、间距20um的电极阻抗变化更明显，证明了电极间隙小、宽度大能够使传感器有更好的灵敏度。

为保证叉指电极的良率和性能，所有工艺步骤均在超净间内完成，采用剥离工艺进行电极制作。首先，利用热氧化生长500 nm 二氧化硅硅片以确保衬底的绝缘性。将硅片用乙醇、超纯水超声清洗，并氮吹干燥保证表面洁净。然后旋涂光刻胶，前烘后进行光刻，其中不同尺寸的叉指电极选用不同尺寸的掩膜版。在光刻、显影将电极图形转移至二氧化硅衬底后，用氧等离子体刻蚀去除残胶。然后电子束蒸发沉积一层 10nm/70nm 的Cr/Au，其中Cr为金电极的黏附层。依次在乙醇、超纯水中进行超声清洗，完成剥离后切片即得到叉指电极传感器。生物叉指电极一般分为生物电检测电极与刺激电极。

MEMS加工技术主要包括光刻、镀膜、刻蚀。光刻是将掩模板上的图形通过光刻胶转移到基底上，主要分为紫外光刻和电子束光刻两类。紫外光刻中，通常光刻胶涂布在需要被刻蚀的加工层上，掩模板直接压在光刻胶上，在紫外光曝光下，透光区和不透光区的光刻胶发生相反的反应，显影后形成所需要的图形。电子束光刻中无需光刻板，避免了光散射的缺点，能提高光刻的精度，通常在 10nm 以上，高于紫外光刻微米级的精度。镀膜是将材料沉积在基底上，通常沉膜的方法因材料而异。在硅工艺中，硅化合物采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)或热生长。金属薄膜在 MEMS中常用作传感电极，采用溅射或蒸发将粘附层和工作层金属均匀一致地沉积于基底上。生物叉指电极的基底材料的强度可将其分为两大类：柔性基底电极和刚性基底电极。浙江叉指电极技术

电极阵列导电层与生物组织无需直接接触就能够通过电容耦合的形式对生物信号进行采集。江苏Pt叉指电极

在微加工工艺中，主要采取硅、玻璃和高分子材料作为基底。硅作为一种半导体材料，具有良好的导电性能，作为叉指电极MEA基底时,需要在表面热生长一层SiO2,隔离金属层和硅基底之间的导电通路出于金属-氧化层-硅具有光电效应，对光敏感在检测中，光照在硅-SiO2 产生的光生电流能被金属电极输出到检测电路，增加信号的噪声幅度。在实验中发现，此噪声幅度可达几十到几百微伏，因此采用硅基底的 MEA 需要避光检测。相比于硅，玻璃具有良好的绝缘性、透光性和耐热性，具有成熟的加工工艺，在生物实验中便于采用倒置显微镜观察，被采用于 MEA 芯片的基底材料。为了降低成本，聚对二甲苯(Parylene)和聚酷亚胺 (Polyimide)也用来作为底材料。这些高分了材料具备良好的绝缘性，耐高温，灵活的可塑性，显示了良好的生物相容性，对细胞的活性没有明显的影响。在本实验室的实践过程中，也尝试采用PCB板加工MEA芯片，然而工艺中电极精度受到限制，电极尺寸限于80um，远远低于微加工工艺的芯片加工精度。江苏Pt叉指电极

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