福建MEMS叉指电极 芯云纳米技术供应

电极类生物传感器的工作分步骤大致分为以下三步:1) 由被测物的阻抗响应可以得到正弦激励小信号。2) 对传感器的表面进行修饰，增强吸附被测物的能力。3) 分析目标检测物在传感器表面吸附前后的阻抗变化得到量化关系。电极设计成叉指阵列形状，可以极大提高反应速率，有效的缩短检测时间。同时，叉指电极具有阻抗降低，福建MEMS叉指电极、稳定性快，福建MEMS叉指电极、信噪比高等优点，与新技术结合构成新型传感器被应用于检测领域。将微叉指电极作为载体，福建MEMS叉指电极，通过电化学检测方法与生物传感技术相结合，能够显著提高电化学传感器的检测精度和灵敏度。叉指电极导电材料的银是所有金属材料中导电性与导热性较好的材料。福建MEMS叉指电极

叉指电极主要是基于两电极体系(工作电极和对电极)和三电极体系(工作电极、对电极和参比电极) 两种结构进行研发的。三电极与两电极结构主要区别在于微电极传感系统是否包含参比电极。两电极体系随着电极表面持续发生化学反应，工作电极的电位产生偏移，电极上的电流始终在变化，此时就难以控制实验的条件，既要实现控制电压又要测量电流就会使系统变得十分不稳定，导致传感器的性能下降。三电极体系中，工作电极是主要的研究和操作对象，通过电极表面的固化酶氧化还原产生电流以实现工作电极的极化。参比电极用来为工作电极提供基准电压，由 Ag/AgCl 制成，对电极使用惰性金属铂制成，这种两种电极都不会被极性化，因此不会影响实验中的电流。湖北叉指电极样品生物叉指电极的基底材料的强度可将其分为两大类：柔性基底电极和刚性基底电极。

血糖浓度是糖尿病诊断的标准。现有的血糖仪大多是单点式的，容易错过血糖变化峰值;无创检测的优点在于不对使用者造成创伤的前提下，间接检测或传感有关生命体生理特征以及生化参数，但受到的干扰因素也更多。酶固化和微针技术，基于保证血糖仪具有较高准确性的同时减小设备的体积与功耗的目的，根据三电极体系的原理，研究并设计出血糖浓度传感器电路，研制基于三电极微针阵列的可穿戴连续检测式微创血糖仪，这种微创血糖仪可以减少频繁扎针产生痛苦，同时能与人体体液接触，减少了干扰因素提高准确性，实现血糖的连续监测。

在电化学电极试验中，循环伏安法是施加在电极上的电压按一定速度进行电位的扫描电极则会产生电流，将该过程加以循环测得电位-电流关系，该方法也叫做CV法。该电流与施加的电位存在对应关系，将此关系进行记录并分析的方法成为电位扫描法电化学中氧化还原体系的循环伏安法测定步骤如下:1、选择溶解、电解质、工作电极、参比电极、辅助电极；2、配制电解液，连接电极测定回路；3、通氮气除去溶液中的氧离子；4、设置电位幅值、扫描速度；5、测试时从初始电位开始，到电位峰值结束，再反向扫描到初始电位。柔性叉指电极的工作原理是在外界力的作用下导致弹性介质发生变形，从而引起叉指电极的电容值发生变化。

高分子材料、单独的Si3N4、SiO2/Si3N4/SiO2的复合层常作为钝化层的可选材料。光刻胶和聚酷亚胺是光敏感的材料，能够在紫外光曝光下形成掩模板所设计的图形，以暴露金属电极位点。这些材料具有较低的介电常数(低于2.7)和良好的生物相容性。相比之下，高分子材料的钝化层厚达几微米，容易受到化学腐蚀，清洗的时候容易碎裂，减短芯片的寿命。硅化合物采用等离子增强型化学气相沉积(PECVD)方法沉积在已经形成电极,引线图形的金属层上，并采用刻蚀的方法将金属电极位点暴露。SiO2/Si3N4都具有绝缘特性，其介电常数分别为7.5 和3.9。在金属-氧化硅-硅的结构中SiO2不能有效地阻止离子的通过，因此较少单独用来做钝化层。SiO2/Si3N4/ SiO2的复合层结合了 Si02的绝缘性和Si3N4阻止离子通过的特性，是钟化层的较好的选择。单独的Si3N4则简化了加工的过程，但需加厚。在本实验工作中，采用单独的Si3N4钝化层，厚度为800-1000nm，能达到良好的绝缘作用。叉指电极阵列以玻璃基为衬底具有良好的生物相容性。浙江陶瓷叉指电极

容性生物电极通过介电层形成电容耦合完成信号采集。福建MEMS叉指电极

在电化学生物传感器中，由相对交叉排列的微叉指电极之间产生一个平行板电容场，由打开的电极，向被测材料提供单边测试区域，两电极板和之间产生电场线。叉指电极原理为，传感器产生的电场线穿透到被测物中并改变传感器的阻抗，由于传感器表现为电容，容抗则成为系统性能的函数。因此，通过测量被测物对传感器的电容电抗,可以评估系统的性能。由于叉指传感器的电极是共面的，因此被测电容会给出很高的信噪比，为了获得较强的信号，该传感器的电极重复平面阵列。福建MEMS叉指电极

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